加入日期	2017年07月27日	所屬地區	云南省	進展階段	審批公示

正文內容

項目名稱：氮化鎵(GaN)外延片及微波功率器件產業化項目

項目概況：氮化鎵(GaN)外延片及微波功率器件產業化項目，建設地點位于云南省昆明空港經濟區，總占地面積100085m2，總建筑面積36204.65m2。建設兩條完整的生產線，年產氮化鎵外延片9萬片、軍用雷達微波功率器件5萬枚、5G通信功率器件及其他器件6000萬枚。總投資120030萬元，其中環保投資1343萬元。2017 年 11 月計劃

開工建設，2018 年 12 月月底建好完工交付使用。

本項目主要建設內容 

類型 

建設名稱 設計參數 備注 

主體工程 

生產廠房一 2 層，建筑面積 12648m2 

鋼結構廠房，層高 8m；1 層

氮化鎵外延片和功率器件生產，2 層封裝線 

生產廠房二 2 層，建筑面積 12648m2 

鋼結構廠房，層高 8m；1 層氮化鎵外延片和功率器件生產，2 層封裝線 

生產廠房三 2 層，建筑面積 12648m2 

鋼結構廠房，層高 8m；1 層

氮化鎵外延片和功率器件生產，2 層封裝線 

生產廠房四 2 層，建筑面積 12648m2 

鋼結構廠房，層高 8m；1 層

氮化鎵外延片和功率器件生產，2 層封裝線 

動力氣體廠房 1層，建筑面積876.04m2 

鋼結構廠房，層高 7.8m，主

要用于存放氮氣、氧氣、氬氣、

氦氣、氨氣、氫氣、硅烷平衡

氮氣、氯氣、氯氮混合氣體、

三氯化硼、一氧化二氮、CF4等氣體 

貯運工程 

化學品庫 1層，建筑面積298.76m2 

混凝土結構，主要用于存放生產過程中使用的化學品（正膠

顯影液、異丙醇、雙氧水、Ti腐蝕液、氫氧化鈉），為甲類倉庫 

綜合倉庫 

1 層，建筑面積3495.28m2 

混凝土結構，主要用于存放部

分原料（碳化硅襯底、藍寶石

襯底、硅襯底、三甲基鎵、三

甲基鋁、光刻膠、去膠液、拋

光液、剝離液、去蠟液、Au 腐

蝕液、電鍍金液、金、鈦、鈦鎢、鉑）和產品 

公用工程 

給水工程 

新鮮水需要量 28.53 萬m3/a 

由園區自來水廠供應 

排水工程 

各種廢水：11.59 萬 m3/a 經處理后全部回用，不外排 

雨水 排入園區雨水管網 

供電工程 1500 萬 kWh 園區供電 

供氣系統 16.2 萬 m3/a 由園區燃氣管網提供 

供熱系統 1 臺 1t/h 燃氣熱水鍋爐 

蒸汽經換熱站換熱為凈化空調

管道系統內循環用水進行加

熱，蒸汽鍋爐天然氣耗量75m3/h。 

純水系統 1 套，產水規模 10t/h 位于純水站 

軟水系統 1 套，產水規模 1.5t/h 位于鍋爐房，給提供鍋爐用水 

循環冷卻系統 660 m3/h 3 臺 220 m3/h 冷卻塔 

冷水機組 共 7 臺 3 臺 2285MW、4 臺 2637MW 

潔凈系統 4 套風量 72000m3/h 

外延 MOCVD 區設備操作區凈

化級別為 1000 級，生產設備區

凈化 10000 級，封裝生產區域

為 10000 級。生產廠房氣流組

織為上送下側回。房間吊頂上

均勻布置高效送風口，房間側

下壁板上布置格柵回風口。室

外新風經集中處理后與室內回

風混合后經過濾及冷熱處理

后，由高效送風口送入潔凈室，

回風經格柵風口回至主回風管道。 

空壓站 900 m3/h 1 臺空壓機 

綠化 19575m2 綠化率 19.56% 

消防水池 1 座，500m3 位于綜合動力站 

綜合動力站 3495.28m2 

純水機房、空壓機房、鍋爐房、消防泵房等 

輔助工程 

綜合辦公樓 

6 層樓，建筑面積

15347.82m2，最高21.45m 

產品展示、辦公、會議、院士

工作站及實驗工程研究中心等 

食堂及倒班宿舍 

5 層樓，建筑面積

6406.4m2，最高 18.15m 

食堂及員工倒班宿舍，其中一

樓為食堂，2~5 樓為職工宿舍 

安檢大廳及辦公樓 

2 層樓，建筑面積2224.4m2，最高 7.8m 

一樓對進出生產廠房的員工進

行安檢，二樓為生產系統部分員工的辦公 

環保工程

廢氣 布袋收塵器 

1 套+1#27 米高排氣筒，

排氣筒位于動力氣體廠

處理激光標刻、打孔、劃片粉塵 

房和四號廠房之間 

Scrubber 燃燒器 

1 套+2#15 米高排氣筒，

排氣筒位于動力氣體廠

房和四號廠房之間 

處理 MOCVD 廢氣 NH3、H2、CH4 

堿液噴淋塔 

1 套+3#27 米高排氣筒，

排氣筒位于動力氣體廠

房和四號廠房之間 

處理 MOCVD、PECVD 清理廢

氣 Cl2 和蝕刻廢氣 Cl2 

活性炭吸附裝置 

1 套+4#27 米高排氣筒，

排氣筒位于動力氣體廠

房和四號廠房之間 

處理光刻工序產生的有機廢氣（VOC） 

氟化物裂解反應爐 

1 套+5#27 米高排氣筒，

排氣筒位于動力氣體廠

房和四號廠房之間 

處理鈍化、場板腐蝕產生的氟

化物 

鍋爐排氣筒 

1 套+6#25 米高排氣筒，

排氣筒位于動力氣體廠

房和四號廠房之間 

外排鍋爐燃氣廢氣 

油煙凈化處理器 

1 套+7#20 米高排氣筒，

排氣筒位于宿舍樓，排

氣筒朝南，油煙凈化器

安裝在食堂廚房 

處理食堂油煙 

廢水 

隔油池 1 個，5m3 食堂廢水隔油處理 

化糞池 

1 個為 20m3，一個為10m3 

分別位于宿舍樓和辦公樓 

廠內生產廢水預

處理站（中和處理） 1 座，處理規模 150m3/d 

位于廠區西北側 

中水站（ICEAS工藝處理） 

1座，處理規模490m3/d，

其中清水池一座，容積

為 320m3（可以容納 1天的中水） 

事故應急水池 

1 座，400 m3（可以容納

1 天的所有廢水） 

位于生產廢水預處理設施旁邊 

噪聲處理 

減振、隔聲、合理布局、

廠區綠化等 / 

固廢 

一般固廢暫存處 1 間，50 m2 

位于工廠的北面，化學品庫旁邊 

危險廢物暫存處 1 間，50 m2 

位于工廠的北面，化學品庫旁邊 

圍堰有效容（m3）/高度（m） 

三甲基鎵 5.5/0.2 

位于綜合倉庫，在堆放上述物

料的地方設置一個圍堰 

三甲基鋁 

光刻膠 

去膠液 

拋光液 

剝離液 

去蠟液 

Au 腐蝕液 

電鍍金液  

正膠顯影液 3.0/0.2 

位于化學品庫，在堆放上述物

料的地方設置一個圍堰 

異丙醇 

雙氧水 

Ti 腐蝕液 

項目主要生產設備 

序號 設備名稱 數量 

基本參數或功能描述 廠家信息 

1 MOCVD 4 氮化鎵生長 

Germany 

Aixtron 

Veeco USA 2 

高真空蒸發鍍膜設備(Metal) 

4 電力規格：AC200V±10%，φ3，50/60Hz Japan ULVAC 

3 真空濺射鍍膜設備 4 

極限真空度：單開分子泵系統時，,8.5x10-6

Pa 開離子泵系統時，8.5x10-7

Pa 擴散泵系統,8x10-4 Pa 2,真空

抽速：從大氣達到 7x10-4 Pa,<40 分鐘。

3.可制備最大為 φ100mm 的薄膜樣品 Japan ULVAC 

4 ICP 刻蝕臺 4 

13.56MHZ 全固態技術;動態諧調 RF 發

生器功率 600-1600W 

北方微電子 Japan ULVAC 

牛津儀器 

5 PECVD 4 

工作頻率 2.45GHZ 功率范圍：2600-3200W 

北方微電子 

牛津儀器 

6 快速退火爐 3 

W*L*H 800x1300x1900mm 

USA Allwin21 Corp 

電力規格： 

380V-125A 

3?/4W-50/60Hz  

7 四探針測試臺 2 

功率:35W 廣州昆德科技

有限公司 

可測電阻率：0.001～1000Ω.cm 可測方

塊電阻:0.01～10000Ω/□ 

8 雙面曝光機 2 

4-6inch，backside lithography，

resolution 0.5um。 

Germany SUSS MicroTec 

9 投影光刻機 4 PAS 5500-750 resolution 0.13um. Nederland ASML 

10 Matrix 105R 等離子去膠機 

4 清洗殘膠 USA Allwin21 Corp 

11 PCT-150 自動上光阻機 3 兩軌，帶冷板和熱板 USA PICOTRACK 

12 自動顯影臺 3 兩軌，帶冷板和熱板 USA PICOTRACK 

13 自動上蠟機 2 高溫臘 Korea NTS 

14 垂直自動減薄機 2 Wafer grinding Korea NTS 

15 粗拋機 2 polishing NTS 

16 激光劃片機 4 cutter 江蘇德龍 

17 金屬剝離機 5 Lift off Austria SSEC 

18 SPM 清洗槽和有機清洗 8 Wafer cleaning 河北神通 

19 腐蝕槽 3 Wafer cleaning 河北神通 

20 Keithley2400 4 testing USA Keithley 

21 Keithley4200 直流測試系統 

2 testing USA Algilent 

22 掃描電子顯微鏡 2 Process check Japan HITACHI 

23 臺階儀 2 Process testing USA Ambios 

24 空氣共平面 G-S-G 探針測量臺 

2 Microwave parameter Testing 

Cascade Microtech 

25 PNA E8363B 高性能矢

量網絡分析儀 

2 Microwave parameter testing USA Algilent 

26 HMDS 預處理烘箱 4 

功率:2000W;容器:90L;電源電

壓:220V±10;尺寸（mm）:450×450×450 

上海劵思實驗

儀器 

27 電熱真空干燥箱 4 30-300℃ 上海實驗儀器 

28 離子注入機 2 200Kev,large beam current Japan ULVAC 

29 電鍍臺 4 electroplating Au 河北申通 

30 Load pull 系統 2 Microwave parameter testing USA EOULU 

31 甩干機 5 Rinse 中電 45 所 

32 E-beam lithography 2 

Resolution 50nm.Overlay 

30nm,8 inch stage The UK leica.  

33 手動探針臺 4 Process testing 河北神通 

34 MBE 2 氮化鋁生長 北方微電子 

35 烤盤爐 4 處理石墨盤 

36 XRD(X 光衍射儀) 2 XPertPRO 

Panalytical(帕納科) 

37 霍爾測試儀 2 HL5500PC 德儀科技 

38 金相顯微鏡 20 BX51M 利訊科技 

39 EL 量測試統 2 Nanometrics-RPMBlue Nanometrics 

40 PL 光譜測量 2 ELV1-MP3 宏綱科技公司 

41 激光打標機 2 ILS-II-30w 雷晟科技 

42 氦氣檢漏儀 3 UL-1000 Fab Inficon 

43 全自動晶片劈裂機 10 芯片開裂 Opto System 

44 芯片點測機 10 抽測芯片 李德精儀 

45 自動貼膜機 5 倒藍膜 李德精儀 

46 自動擴片機 5 晶片擴大 李德精儀 

47 金線打線機 6 打金線 

達運工業股份有限公司 

48 恒溫恒濕測試機組 2 老化篩選 遠方科技 

49 推拉力機 2 可靠性 

達運工業股份有限公司 

50 老化工作箱 5 可靠性測試 

達運工業股份有限公司 

51 高溫老化測試臺 5 可靠性測試 

達運工業股份有限公司 

52 Semi-Auto Parts Cleaner 5 PC-001A 

錫宬科技有限公司 

53 Ebara Dry pump 5 ESA70WD 荏原公司(上海) 

54 爐管合金爐 2 金屬合金 青島賽瑞達 

55 低溫測試機組 5 可靠性測試 

達運工業股份有限公司 

56 Spectrum Analyzer 1 26.5GHz or 40GHz Agilent 

57 Power meter 

3 Power load, Attenuators, couplers Agilent 功率計 

58 微波功率放大器 2 18GHz or 26.5GHz 

59 Microwave signal sweeping source （信號源） 

2 40GHz Agilent 

60 Oscilloscope 2 Agilent 

61 Noise figure analyzer 噪

音分析儀 1 Agilent 

62 Microwave probe system 1 Floating 

63 ADS software 1 

Microwave circuit simulation and 3D 

PCB simulation Agilent 

64 HFSS 1 3D Electrical-magnetic simulation Ansoft 

65 IC-CAP 1 Microwave device modeling 

66 Auto-welding/bonding 3 器件封裝 

67 金硅共融焊接設備 1 大功率器件封裝 

68 其他輔助生產設施

建設單位：云南凝慧電子科技有限公司 

環評單位：湖南景璽環保科技有限公司